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第148章 光电,0.5纳米的制程工艺

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申城微电子的无尘车间。

穿着无尘服,带着口罩和护目镜的潘飞鹏看着面前依次排开的三个大家伙,脸上的笑意连口罩和护目镜都遮挡不住。

EUV光刻机啊!

全国产的EUV光刻机终于要下线了。

经过两个多月的日夜艰辛,三台EUV光刻机已经完成了总装和分系统的验证,再有一个星期的整机验证,三台EUV光刻机就能下线了。

虽说国外的EUV光刻机大批量涌进国内,且价格只有以前的一半,他依然不担心,毕竟他们制造的EUV光刻机成本更低。

说实话,这些垄断的设备,国外买的太贵太贵。

就拿EUV光刻机来说,卖的价格直接在成本价上乘以百倍,甚至更多。

这就是为啥那些发达国家能够过上富裕生活的原因之一。

说来也搞笑,以前BSML公司产能总是跟不上需求,不是这里问题就是那里问题。

不说国内买不到的EUV光刻机了,连国内能买的DUV光刻机都拖着迟迟不能交货。

目的只有一个,加钱。

可自从国内接连突破离子束抛光技术、等离子EUV光源技术。

BSML公司这问题、那问题都没有了,产能瞬间飙升了十倍不止,短短两个多月时间已经完成二十台EUV光刻机的交付。

那以前,动不动就说一台EUV光刻机总装要多久多久,现在看完全不是那么回事。

看着三台即将下线的EUV光刻机,他很兴奋。

三台EUV光刻机中,两台将会交付给国内的芯片制造商,留下一台他们自己试生产3纳米的芯片。

他们不只是生产光刻机,还有芯片制造工厂。

要知道,芯片的3纳米制程工艺就是他们申城微电子领头开发的。

现在就差EUV光刻机了。

正想着,他的助理柳天昊凑过来说:「我们EUV光刻机上应该装上更加先进的飞米级光学镜头,这样一来,我们的EUV光刻机就更厉害了。」

「你真敢想,国内多少机构多少单位等着飞米级光学镜头用了,再说,现有的皮米级光学镜头用在EUV光刻机上绰绰有余,用飞米级光学镜头那就是浪费。」潘飞鹏激动的说。

飞米级光学镜头!

苏哲和上岭大学光学镜头研究中心的人太狠了。

先是突破了皮米级光学镜头,接着又突


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