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第二百七十九章:想弄死韩元的米国

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极紫外光的最低反射能量损失能降低到百分之十左右。”

韩元的话说出口,直播间里面的观众并没有多大感觉,照常嘻嘻哈哈的各种插科打诨。

毕竟百分之三十的损失率降低到百分二十也只是降低了十个点。

即便是降低到百分之十也只有二十个点而已。

再加上韩元也没有说降低了这些损失率能有多重要,所以这一极为重要的信息直接就被绝大部分的观众忽略掉了。

倒是有一些观众在不明觉厉习惯性的刷着牛逼、厉害等话语,不过他们也不知道这到底代表着什么。

但收看直播的各国光学专家就不一样了。

在听到这种新式制备的‘分布式布拉格反射器’能将反射能量降低到百分之十的时候,仿佛脑门上被人拍了一板砖一样,顿时感觉人有点头晕目眩。

且不说最低反射能量损失可以达到百分之十,就是能降低百分之一,都是一个极大的突破啊。

要知道受限于极紫外光的特殊性质,即便是在真空中,它也很容易被包括镜头玻璃内的材料吸收。

所以需要euv光刻机中才需要使用反射镜来代替透镜。

但普通打磨镜面的反射率还不够高,需要复式镜面设计。

也就是可以将多层的反射集中成单一反射的‘布拉格反射器’。

而目前的人类制造出来的‘布拉格反射器’每一次反射极紫外光光源都会损失三成左右的光线能量。

但一台euv光刻机得经过十几面反射镜,才能将极紫外光从光源一路引导到晶圆上。

到最后,能用于雕刻的光源,大概只能剩下不到百分之二的光线。

这也是光源激发器的为什么需要超大功率的原因。

毕竟在传播途径中就损失了绝大部分的光线,到最后刻蚀到晶圆上的光线能级压根就不够。

如果能降低光能反射损失率,哪怕是一个点,对于极紫外光源的强度要求就会下降好几个点。

更别提百分之十甚至是百分之二十的损失率降低了。

特别是华国的光学专家和专门研究光刻机突破的实验室及研究所,一个个的呼吸瞬间都沉重了起来。

如果真如这名主播说的,能降低百分之二十,不,甚至只需要百分之十。

那么以华国世界一线级的激光光源制造能力,生产出来的极紫外光光源就能应用到光刻机的生产上。

而在此之前,整个世


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